每日經濟新聞 2023-09-05 12:53:48
每經AI快訊,有投資者在投資者互動平臺提問:請問,公司是否取得一種光刻機運動軌跡規劃方法的專利?
固高科技(301510.SZ)9月5日在投資者互動平臺表示,半導體相關設備一直是公司技術、產品的一個重點應用領域。公司在2014年曾因控制類技術、產品在半導體后封裝相關設備領域的應用與對行業的貢獻獲得國家科技進步二等獎。 半導體前道設備所需的控制、伺服驅動與系統相關的技術、產品,公司也一直在持續研究、迭代與應用部署;公司于23年上半年有獲批一項關于半導體設備運動軌跡規劃的專利《光刻機運動軌跡規劃方法、裝置、計算機設備和存儲介質》。
(記者 王可然)
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