半導體前道量檢測設備行業報告：重點產品持續突破，國產替代正在加速（國海證券研報）

每經AI快訊，2024年1月18日，國海證券發布研報點評專用設備行業。

半導體量檢測設備市場空間廣闊

半導體行業需求回暖疊加中國大陸晶圓廠持續擴產，國內半導體設備市場長期有望穩健增長。質量控制貫穿晶圓制造全過程，是芯片生產良率的關鍵保障，先進制程將對工藝控制水平提出更高要求，量檢測設備價值量有望倍增。我們測算，2023/2024/2025/2026年全球半導體量檢測設備市場空間分別為105/120/138/145億美元，CAGR達11.5%，中國大陸半導體量檢測設備市場空間分別為35/41/48/51億美元，CAGR達12.8%。

多系統組合有望成為檢測技術方向

我們測算，2022年全球光學/電子束/X光檢測設備市場份額分別為74.2%/19.7%/2.2%，光學檢測速度快、無接觸，然而先進節點檢測靈敏度有限；電子束檢測精度較高，然而速率較慢、設備成本較高；隨著芯片材料和結構復雜性持續提升，多系統組合有望成為檢測技術方向。

近年量檢測設備國產替代正在加速

據VLSIResearch、QYResearch，2020年全球半導體量檢測設備行業CR5達82%，KLA歷經多次并購，產品種類齊全，2020年KLA量檢測設備全球市占率達51%；ASML將量檢測設備與EUV系統配套，電子束檢測設備競爭優勢顯著，據the information network，2022年ASLM電子束檢測設備全球市占率達50%。目前量檢測設備國產化率較低，本土主要供應商包括上海精測、中科飛測和睿勵儀器，2018-2022年三家公司國內市場份額合計0.67%/0.60%/2.11%/2.38%/3.17%，地緣因素影響下，量檢測設備國產替代正在加速。

關注本土設備商新品突破及訂單進展

半導體量檢測設備空間廣闊，國產替代正在加速，建議關注精測電子、中科飛測、中微公司、賽騰股份、天準科技。1）精測電子：立足面板檢測主業，半導體產品持續完善，明場檢測設備進展領先；2）中科飛測：聚焦量檢測設備近十年，納米圖形晶圓缺陷檢測、關鍵尺寸量測等設備加速研發；3）中微公司：多次增資睿勵儀器，量檢測收入持續增長；4）賽騰股份：收購日本Optima，布局晶圓檢測設備；5）天準科技：加速布局半導體領域，首臺明場檢測設備已交付客戶試用。首次覆蓋，給予半導體前道量檢測設備行業“推薦”評級。

風險提示：半導體行業景氣度復蘇不及預期；半導體設備國產替代不及預期；行業競爭加劇風險；市場空間測算偏差風險；重點關注公司業績不及預期；研究報告使用的公開資料可能存在信息滯后或更新不及時的風險等。

(來源：慧博投研)

免責聲明：本文內容與數據僅供參考，不構成投資建議，使用前請核實。據此操作，風險自擔。

(編輯 曾健輝)