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    每日經濟新聞
    
    

    
  
    
   




      
    
        
          
    
            
            

          
    

     
  
    

    






    



























    
  


    
  
  
    
    
    
      
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            華海清科：12英寸超精密晶圓減薄機量產機臺出貨
        
    
        
        
    
          
            
          
          
            2023-05-21 16:38:35
          
        
    

        
    

        
    
        

      
    
      


      
      
    
        

        

        
        
    每經AI快訊，5月21日，華海清科公告，近日，公司新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產機臺出機發往集成電路龍頭企業。12英寸超精密晶圓減薄機是業內首次實現12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機整合集成設備，Versatile-GP300量產機臺可穩定實現12英寸晶圓片內磨削總厚度變化＜1um和減薄工藝全過程的穩定可控。
    

        


        
      
    
    
    


    
    
    
      
           責編  張楊運
      
    
    

    

    
    
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