英杰電氣：公司在第三代半導體材料碳化硅制造設備上有電源配套，也屬于進口替代產品

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：公司在鍺Ge、硅Si等至第四代Ga2O3、金剛石C等半導體材料方面的電源產品是已經有實現銷售了嗎？對應下游客戶是哪一類？ 就是公司公眾號文章說，公司在半導體制程電源方面實現了多個產品的進口替代，其中有包括離子注入機、刻蝕機和薄膜沉積設備的電源嗎？

英杰電氣（300820.SZ）7月4日在投資者互動平臺表示，公司在第三代半導體材料碳化硅制造設備上有電源配套，也屬于進口替代產品，目前該行業主流廠商和公司均有業務。MOVCD設備上的可編程直流電源，公司已經實現多年的進口替代，今年在刻蝕、離子注入等工藝環節也有進口替代的電源研發，目前處于樣機后期測試階段。

(記者 畢陸名)

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