江豐電子：目前，公司生產的鉭靶、鈦靶、鋁靶已經實現5nm技術節點的量產

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：2021年報P45：集成電路28-7nm技術節點用超高純鉭（Ta）靶材及環件、銅靶材（Cu）、鈦靶材（Ti）、鋁靶材（Al）…并在客戶端實現全面量產，其中鉭靶材及環件在臺積電7nm芯片中已經量產。同時，應用于5nm技術節點的部分產品評價通過并量產，部分產品進入驗證階段。 請問，5nm實現量產的產品是什么靶材？鋁靶嗎？

江豐電子（300666.SZ）10月8日在投資者互動平臺表示，目前，公司生產的鉭靶、鈦靶、鋁靶已經實現5nm技術節點的量產。

(記者 蔡鼎)

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