南大光電：公司ArF光刻膠所需的關鍵配套材料均為自主研發生產，主要檢測設備如光刻機也已正常投入使用

每經AI快訊，有投資者在投資者互動平臺提問：您好，ARF光刻膠是中高級芯片制程用量最大的光刻膠，目前國內只有i線g線光刻膠實現了量產，KRF實現很少量生產，而ARF光刻膠基本需要進口。目前國內南大光電實現了ARF光刻膠產線建設和送檢適配，并獲得少量訂單，是最可能最早量產的企業。但公司實現量產似乎仍要假以時日，據說光刻膠量產需要高質量的樹脂、高精度的檢驗設備和DUV光刻機，請問公司當前量產主要困難在哪個環節？

南大光電（300346.SZ）11月11日在投資者互動平臺表示，公司ArF光刻膠所需的關鍵配套材料均為自主研發生產，主要檢測設備如光刻機也已正常投入使用。 目前ArF光刻膠仍在驗證中，需要根據驗證進度和客戶訂單情況確定規模量產時間。

(記者 陳鵬程)

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